Piezo-Flexure-Einzelachsentisch, Größe 60 mm
SFS-H60X(CL)
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Biegestufen mit Nanometerauflösung und hoher Steifigkeit.
| Name | Piezo-Flexure-Einzelachsentisch, Größe 60 mm |
|---|---|
| Gewicht | 0.4000kgs |
| Leitfaden | - |
| Achtung |
|
| Image Label | Piezo Flexure Single Axis Stage 60mm Size |
| Verfahrweg (bei offenen Steuerung) | 100μm±15% |
| Ladekapazität | 19.6N (2.0kg) |
| Verfahrweg (at open-loop control) | 100μm±15％ |
| Tischgröße | 60×60mm |
| Actuator | Piezo actuator |
| Theoretical Auflösung (open-loop | 1nm |
| Auflösung (closed-loop) | 10nm |
| Linearity | ＜0.3％ |
| Perpendicularity (Horizontal Direction) | 1μm |
| Positionswiederholbarkeit | ＜0.1μm |
| Ladekapazität | 19.6N(2.0kgf) |
| Micro-displacement Sensor | Digital Sensor |
| Compatible Kabel |
FINE-CA-3: For piezo DS1-CA-3: For digital sensor |
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SFS-H60X(CL)
2.464,30 €
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Biegestufen mit Nanometerauflösung und hoher Steifigkeit.