Motorisierter einachsiger Tisch Serie 26 Verfahrweg 200 mm für Vakuum

VSGSP26-200(X)

CE
Motorisierte SGSP-Stufen modifiziert für den Einsatz im Hochvakuum.
◦ Lineartische haben einen verfügbaren Verfahrweg zwischen 35 und 200 mm und eine ähnliche Grundfläche wie die SGSP-Serie.
Weitere Informationen
Name Motorisierter einachsiger Tisch Serie 26 Verfahrweg 200 mm für Vakuum
Gewicht 2.5000kgs
Leitfaden
  • Enthält 1 m teflonbeschichtete Kabel zum Anschluss des Vakuummotors und der Vakuumgrenzschalter an den Kammerdurchführungsanschluss.
Achtung -
Image Label Motorized Single Axis Stage Series 26 Travel 200mm for Vacuum
Verfahrweg 200mm
Ladekapazität 58.8N (6.0kg)
Verfahrweg 200mm
Tischgröße 80×80mm
Förderschnecke Precision ground screw φ8mm、 2mm lead
Positionierungsschlitten Outer rail structure
Bühnenmaterial Aluminium・Stainless steel
Ende -
Auflösung (Halb) 4μm/Puls
Auflösung (Voll) 2μm/Puls
Minimale inkrementelle Bewegung (Referenz) 0.2μm
Höchstgeschwindigkeit 20mm/sek
Positionswiederholbarkeit 10μm
Ladekapazität 58.8N(6.0kgf)
Verlorene Bewegung 10μm
Sensor-Teilenummer GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.)
Grenzsensor Vacuum touch sensor (NORMAL CLOSE)
Ursprungssensor -
Näherungsursprungssensor -
Auf Lager
SKU
VSGSP26-200(X)
7.885,70 €

Delivery in : 6-12 weeks

Motorisierte SGSP-Stufen modifiziert für den Einsatz im Hochvakuum.

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