Motorisierter einachsiger Tisch Serie 20 Verfahrweg 85 mm für Vakuum

VSGSP20-85(X)

CE
Motorisierte SGSP-Stufen modifiziert für den Einsatz im Hochvakuum.
◦ Lineartische haben einen verfügbaren Verfahrweg zwischen 35 und 200 mm und eine ähnliche Grundfläche wie die SGSP-Serie.
Weitere Informationen
Name Motorisierter einachsiger Tisch Serie 20 Verfahrweg 85 mm für Vakuum
Gewicht 1.1000kgs
Leitfaden
  • Enthält 1 m teflonbeschichtete Kabel zum Anschluss des Vakuummotors und der Vakuumgrenzschalter an den Kammerdurchführungsanschluss.
Achtung -
Image Label Motorized Single Axis Stage Series 20 Travel 85mm for Vacuum
Verfahrweg 85mm
Ladekapazität 39.2N (4.0kg)
Verfahrweg 85mm
Tischgröße 60×60mm
Förderschnecke Precision ground screw φ6mm、 1mm lead
Positionierungsschlitten Outer rail structure
Bühnenmaterial Aluminium・Stainless steel
Ende -
Auflösung (Halb) 2μm/Puls
Auflösung (Voll) 1μm/Puls
Minimale inkrementelle Bewegung (Referenz) 0.2μm
Höchstgeschwindigkeit 10mm/sek
Positionswiederholbarkeit 5μm
Ladekapazität 39.2N(4.0kgf)
Verlorene Bewegung 3μm
Sensor-Teilenummer GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.)
Grenzsensor Vacuum touch sensor (NORMAL CLOSE)
Ursprungssensor -
Näherungsursprungssensor -
Auf Lager
SKU
VSGSP20-85(X)
7.491,40 €

Delivery in : 1 week

Motorisierte SGSP-Stufen modifiziert für den Einsatz im Hochvakuum.

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