Vakuumkompatible Lineartische1 Achse (X/Y)

VSGSP-(X)

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VSGSP-(X)

Motorisierte SGSP-Stufen modifiziert für den Einsatz im Hochvakuum.

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VTAMM60S-20X

20mm

29.4N (3.0kg)

6-12 weeks

4.968,00 €

Verfahrweg	20mm
Tischgröße	60×60mm
Förderschnecke	Precision ground screw φ4mm、0.5mm lead
Positionierungsschlitten	Gekreuzte Walze
Bühnenmaterial	Aluminium
Ende	-
Auflösung (Halb)	1μm/Puls
Auflösung (Voll)	0.5μm/Puls
Höchstgeschwindigkeit	5mm/sek
Positionswiederholbarkeit	6μm
Ladekapazität	29.4N(3.0kgf)
Verlorene Bewegung	5μm
Censer type	GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.)
Grenzsensor	Vacuum touch sensor (NORMAL CLOSE)
Ursprungssensor	-
Näherungsursprungssensor	-

details

VSGSP26-200(X)

200mm

58.8N (6.0kg)

1 week

8.280,00 €

Verfahrweg	200mm
Tischgröße	80×80mm
Förderschnecke	Precision ground screw φ8mm、 2mm lead
Positionierungsschlitten	Outer rail structure
Bühnenmaterial	Aluminium・Stainless steel
Ende	-
Auflösung (Halb)	4μm/Puls
Auflösung (Voll)	2μm/Puls
Minimale inkrementelle Bewegung (Referenz)	0.2μm
Höchstgeschwindigkeit	20mm/sek
Positionswiederholbarkeit	10μm
Ladekapazität	58.8N(6.0kgf)
Verlorene Bewegung	10μm
Sensor-Teilenummer	GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.)
Grenzsensor	Vacuum touch sensor (NORMAL CLOSE)
Ursprungssensor	-
Näherungsursprungssensor	-

details

VSGSP20-35(X)

±35mm

39.2N (4.0kg)

1 week

7.762,60 €

Verfahrweg	35mm
Tischgröße	60×60mm
Förderschnecke	Precision ground screw φ6mm、 1mm lead
Positionierungsschlitten	Outer rail structure
Bühnenmaterial	Aluminium・Stainless steel
Ende	-
Auflösung (Halb)	2μm/Puls
Auflösung (Voll)	1μm/Puls
Minimale inkrementelle Bewegung (Referenz)	0.2μm
Höchstgeschwindigkeit	10mm/sek
Positionswiederholbarkeit	5μm
Ladekapazität	39.2N(4.0kgf)
Verlorene Bewegung	3μm
Sensor-Teilenummer	GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.)
Grenzsensor	Vacuum touch sensor (NORMAL CLOSE)
Ursprungssensor	-
Näherungsursprungssensor	-

details

VSGSP20-85(X)

85mm

39.2N (4.0kg)

6-12 weeks

7.866,00 €

Verfahrweg	85mm
Tischgröße	60×60mm
Förderschnecke	Precision ground screw φ6mm、 1mm lead
Positionierungsschlitten	Outer rail structure
Bühnenmaterial	Aluminium・Stainless steel
Ende	-
Auflösung (Halb)	2μm/Puls
Auflösung (Voll)	1μm/Puls
Minimale inkrementelle Bewegung (Referenz)	0.2μm
Höchstgeschwindigkeit	10mm/sek
Positionswiederholbarkeit	5μm
Ladekapazität	39.2N(4.0kgf)
Verlorene Bewegung	3μm
Sensor-Teilenummer	GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.)
Grenzsensor	Vacuum touch sensor (NORMAL CLOSE)
Ursprungssensor	-
Näherungsursprungssensor	-

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◦ Lineartische haben einen verfügbaren Verfahrweg zwischen 35 und 200 mm und eine ähnliche Stellfläche wie die SGSP-Serie.