X-Achsen-Motortisch mit 100 mm Verfahrweg, 50 nm Auflösung, 120 x 120 mm, M4 Thd
FS-1100X
FS-X ist eine Rückkopplungsstufe mit einer Positionierung im Submikronbereich.
Interne optische Linearencoder sind in der Mitte des Tisches eingebaut, um die Position zu erkennen.
Die Positionierung auf die Zielposition, die Positionierwiederholbarkeit und das Halten der Position mit hoher Auflösung wird durch eine Rückkopplungssteuerung unter Verwendung der Positionsinformationen des Encoders erreicht.
Es gibt sieben Arten von Stufen. Es ist ideal, um die Daten in einem weiten Bereich zu sammeln oder durch den großen Verfahrbereich eine präzise Positionierung und Bewegung einer Probe auf einem einzigen Tisch durchzuführen.
Interne optische Linearencoder sind in der Mitte des Tisches eingebaut, um die Position zu erkennen.
Die Positionierung auf die Zielposition, die Positionierwiederholbarkeit und das Halten der Position mit hoher Auflösung wird durch eine Rückkopplungssteuerung unter Verwendung der Positionsinformationen des Encoders erreicht.
Es gibt sieben Arten von Stufen. Es ist ideal, um die Daten in einem weiten Bereich zu sammeln oder durch den großen Verfahrbereich eine präzise Positionierung und Bewegung einer Probe auf einem einzigen Tisch durchzuführen.
| Name | X-Achsen-Motortisch mit 100 mm Verfahrweg, 50 nm Auflösung, 120 x 120 mm, M4 Thd |
|---|---|
| Gewicht | 2.1000kgs |
| Achsengröße | 120×120mm |
| Verfahrweg | 100mm |
| Tischgröße | 120×120mm |
| Positionierungsschlitten | LM Guide |
| Förderschnecke | Durchmesser der Kugelumlaufspindel φ6mm, 1mm lead |
| Antriebsmotor | □28mm 5 Phasenschrittmotor |
| Gewicht | 2.1㎏ |
| Minimum Auflösung *1 FC-411 | 50nm |
| Minimum Auflösung *1 FC-414 | - |
| Positionswiederholbarkeit *1 FC-411 | ±100nm |
| Positionswiederholbarkeit *1 FC-414 | - |
| Ladekapazität | 98N(10kgf) |
| Maximale Verfahrgeschwindigkeit | 10μm |
| *1 Minimum Auflösung and position repeatability accuracy for built-in scale read. | |
| Primärmaterial | Aluminium |
| Ende | Schwarz eloxiert |
| Motor Type | Ausgestattet |
| Grenzsensor | - |
| Ursprungssensor | - |
| Näherungsursprungssensor | - |
| Signal Cycle | 4μm |
| Scale Kabel* | 2m *Scale Kabel comes directly out of the Bühne. Please prepare "Verlängerungskabel for scale" separately if 2m or longer Kabel are needed. |
| Compatible Controller |
FC-411: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X FC-414: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X |
| Compatible Kabel |
PM-CA: FS-1020X, FS-1050X, FS-1100X, FS-3150X PM4N-CA*SD: FS-3200X, FS-3300X, FS-3400X |
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FS-1100X
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FS-X ist eine Rückkopplungsstufe mit einer Positionierung im Submikronbereich.
Interne optische Linearencoder sind in der Mitte des Tisches eingebaut, um die Position zu erkennen.
Die Positionierung auf die Zielposition, die Positionierwiederholbarkeit und das Halten der Position mit hoher Auflösung wird durch eine Rückkopplungssteuerung unter Verwendung der Positionsinformationen des Encoders erreicht.
Es gibt sieben Arten von Stufen. Es ist ideal, um die Daten in einem weiten Bereich zu sammeln oder durch den großen Verfahrbereich eine präzise Positionierung und Bewegung einer Probe auf einem einzigen Tisch durchzuführen.
Interne optische Linearencoder sind in der Mitte des Tisches eingebaut, um die Position zu erkennen.
Die Positionierung auf die Zielposition, die Positionierwiederholbarkeit und das Halten der Position mit hoher Auflösung wird durch eine Rückkopplungssteuerung unter Verwendung der Positionsinformationen des Encoders erreicht.
Es gibt sieben Arten von Stufen. Es ist ideal, um die Daten in einem weiten Bereich zu sammeln oder durch den großen Verfahrbereich eine präzise Positionierung und Bewegung einer Probe auf einem einzigen Tisch durchzuführen.
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