Aktive Schwingungsisolationssysteme

Aktive Vibrationsisolationssysteme werden auf einem optischen Tisch oder einer Arbeitsstation angebracht, um Vibrationen proaktiv zu erkennen und zu isolieren, bevor sie die Arbeitsfläche beeinträchtigen. Sie bestehen aus einem Feder-, Rückkopplungs- und Feedforward-Regelalgorithmus mit Vibrationssensoren und Aktuatoren. Der Rückkopplungssteuerungsalgorithmus verwendet Sensoren, die kontinuierlich Vibrationen messen, die vom Boden oder von der Nutzlast stammen, und sendet Signale an die Aktuatoren, um die Vibrationen auszugleichen. Zu den Anwendungen für aktive Desktop-Vibrationsisolationsplattformen gehören Rasterkraftmikroskopie, Fluoreszenzmikroskopie, Rastersondenmikroskopie, optische 3D-Mikroskopie, optische Mikroskopie mit Nanometerauflösung, digitale holographische Mikroskopie, Taststift-Profilometrie, Interferometrie, Messtechnik der Oberflächenrauheit.